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原標(biāo)題：SEMICON China 2023展商特寫(xiě)：可信賴(lài)的半導(dǎo)體真空泵工藝專(zhuān)家Edwards

在科技高速發(fā)展的今天，信息技術(shù)已經(jīng)滲透到我們生活的方方面面。而半導(dǎo)體芯片，作為各種新興技術(shù)快速發(fā)展的核心支撐，其重要的基石作用也已經(jīng)被大家所認(rèn)知。芯片的性能和可靠性直接影響著整個(gè)信息社會(huì)的運(yùn)轉(zhuǎn)和發(fā)展，同時(shí)也成為各個(gè)國(guó)家和企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的重要標(biāo)志。

基于WSTS的今年6月份發(fā)表的數(shù)據(jù)，2022年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)銷(xiāo)售額達(dá)到了史無(wú)前例的5741億美元，今年，經(jīng)歷一波短暫的調(diào)整之后，預(yù)計(jì)2024年，整個(gè)市場(chǎng)將達(dá)到5760億美元。從而再次攀登到一個(gè)新的高度。

數(shù)據(jù)來(lái)源：WSTS數(shù)據(jù)整理2023.6

縱觀國(guó)內(nèi)，新一代的信息腔體加工技術(shù)產(chǎn)業(yè)已被定義為支撐國(guó)民經(jīng)濟(jì)的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。在各個(gè)應(yīng)用層面的巨大需求推進(jìn)下，對(duì)于芯片的需求也越來(lái)越大，中國(guó)正消耗著世界約三成的半導(dǎo)體芯片。中國(guó)有巨大的市場(chǎng)，需要屬于自己的芯片供應(yīng)能力，已經(jīng)成為了共識(shí)。由此，也給國(guó)內(nèi)企業(yè)帶來(lái)了巨大的發(fā)展機(jī)會(huì)。

數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì) 2023.3

數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)海關(guān) 2023.3

近幾年，圍繞芯片產(chǎn)業(yè)的建設(shè)始終沒(méi)有停止過(guò)，但由于多方面的原因，國(guó)內(nèi)的芯片產(chǎn)業(yè)相較于世界主流來(lái)說(shuō)還是有著相當(dāng)大的差距。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的特殊性，使其注定不同于我們傳統(tǒng)的制造業(yè)，它是由一個(gè)個(gè)基礎(chǔ)，成熟的產(chǎn)業(yè)累積疊加而構(gòu)成的復(fù)合型產(chǎn)業(yè)，其供應(yīng)鏈構(gòu)成極為復(fù)雜，它涉及到高精度、高純度的腔體加工材料和極其精密的加工工藝。除了對(duì)于各應(yīng)用科學(xué)領(lǐng)域的苛刻要求，半導(dǎo)體還涉及到化學(xué)，光學(xué)，物理學(xué)等等基礎(chǔ)類(lèi)理論學(xué)科。可以這么說(shuō)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是人類(lèi)在各個(gè)工業(yè)和學(xué)術(shù)領(lǐng)域里最高水平結(jié)合而成的極致的復(fù)合產(chǎn)業(yè)。

子系統(tǒng)和零配件的重要性

構(gòu)成半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的，是一個(gè)個(gè)子系統(tǒng)，乃至零部件個(gè)體本身的水準(zhǔn)累積。期間，精密零配件在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中扮演著至關(guān)重要的角色，它們是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件高精度制造和可靠性的關(guān)鍵組成部分。高質(zhì)量的子系統(tǒng)在最大程度上決定了半導(dǎo)體項(xiàng)目的水準(zhǔn)。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用到的子系統(tǒng)和零配件牽涉面很廣，主要有“定制件”和“成品件”兩大類(lèi)。“定制件”是指晶圓廠和設(shè)備廠按照自己的要求向供應(yīng)商定制化采購(gòu)的零配件，這主要涉及“石腔體加工英件，金屬加工件，陶瓷件，硅加工件，氟材料件”等產(chǎn)品。而“成品件”則是“泵，閥，電源，控制，計(jì)量，光源”等由一系列由系統(tǒng)廠商組裝完成，符合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)格和要求的系統(tǒng)和單元。

基于VLSI Research統(tǒng)計(jì)的半導(dǎo)體相關(guān)制造業(yè)關(guān)鍵子系統(tǒng)的 頂級(jí)供應(yīng)商名單。從銷(xiāo)售額上來(lái)看，近10年來(lái)供應(yīng)商的前幾位， 差不多都被光學(xué)系、真空泵、閥門(mén)廠家牢牢占據(jù)。

真空泵在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的使用

資料來(lái)源：公開(kāi)數(shù)據(jù)，北京諾拓信息咨詢(xún)有限公司

《真空泵行業(yè)市場(chǎng)調(diào)研分析及投資預(yù)測(cè)研究報(bào)告》

從整個(gè)真空市場(chǎng)來(lái)看，真空泵作為一個(gè)通用系統(tǒng)，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的使用量是相當(dāng)大的。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，真空環(huán)境非常普遍，半導(dǎo)體用真空泵作為不可或缺的利器腔體加工，正發(fā)揮著無(wú)可替代的作用。而很多生產(chǎn)設(shè)備，檢測(cè)步驟對(duì)于真空又有著極高的要求，它們?cè)谖锢須庀喑练e（PECVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、離子注入（Ion Implantation），檢測(cè)（Inspection），乃至EUV極紫外光刻等關(guān)鍵工藝步驟中扮演著關(guān)鍵角色。用在這個(gè)領(lǐng)域的真空泵產(chǎn)品，因?yàn)閷?duì)于精度，耐久性，潔凈度等各方面的嚴(yán)苛要求，又不同于面向傳統(tǒng)行業(yè)的產(chǎn)品。通過(guò)創(chuàng)造高度純凈的真空環(huán)境，真空泵的好壞，直接影響到半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。然而，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對(duì)于真空泵要求已經(jīng)遠(yuǎn)不止于此。技術(shù)的不斷創(chuàng)新和進(jìn)步使得真空泵具備更高的效率、更低的能耗，推動(dòng)了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向著更加可持續(xù)和環(huán)保腔體加工的方向發(fā)展。

雖說(shuō)是通用系統(tǒng)，但目前世界上能提供這個(gè)規(guī)格產(chǎn)品的廠家數(shù)量并不多，主要集中在歐洲和日本的供應(yīng)商。最近幾年國(guó)內(nèi)廠家在這方面也相當(dāng)努力，已經(jīng)出現(xiàn)了幾家優(yōu)秀的制造商，但整體水準(zhǔn)和國(guó)際主流供應(yīng)商相比還是存在著一定的差距。

無(wú)論是產(chǎn)品水準(zhǔn)還是市場(chǎng)份額，目前歐洲的廠商都占據(jù)了相當(dāng)大的優(yōu)勢(shì)。其中，總部位于英國(guó)的Edwards無(wú)疑是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)真空產(chǎn)品的領(lǐng)導(dǎo)公司。

2021 年全球半導(dǎo)體真空泵市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局

資料來(lái)源: 華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院，浙商證券研究所整理

目前，合并Edwards之后的Atlas在全球半導(dǎo)體真空泵市場(chǎng)份額接近一半。

數(shù)據(jù)來(lái)源：VLSI research，Edwards

單位：百萬(wàn)美元 *包括干泵+分腔體加工子泵

從全球市場(chǎng)上看，Edwards真空泵銷(xiāo)售額已經(jīng)達(dá)到了10億美元規(guī)模。

Edwards（埃地沃茲）成立于1919年，是一家歷史超過(guò)百年的跨國(guó)公司，公司于2014年加入了瑞典Atlas Copco集團(tuán)（成立于1873年，全球員工超過(guò)39000人）。是全球領(lǐng)先的真空設(shè)備、尾氣處理系統(tǒng)和相關(guān)增值服務(wù)的開(kāi)發(fā)商和制造商，公司的產(chǎn)品和服務(wù)在半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池的制造流程中不可或缺，被應(yīng)用于日益多樣化的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中。

Edwards公司全球員工超過(guò)6250人（其中服務(wù)人員超過(guò)2000人，研發(fā)團(tuán)隊(duì)超過(guò)700人），秉承全球化和本土化的發(fā)展理念，Edwards在英國(guó)，美國(guó)，捷克，日本，韓國(guó)和中國(guó)腔體加工青島都設(shè)立了工廠，目前全球各地有29家銷(xiāo)售和服務(wù)公司。在半導(dǎo)體行業(yè)的客戶(hù)覆蓋了Intel，TSMC，UMC，三星，Mircon, Kioxia等大部分主流晶圓廠。

強(qiáng)大的技術(shù)背景

因?yàn)镋UV光刻機(jī)對(duì)工作環(huán)境的要求極為嚴(yán)苛，空氣及幾乎所有的材料均對(duì)EUV光具有強(qiáng)烈的吸收作用，導(dǎo)致EUV光刻機(jī)內(nèi)部工作環(huán)境必須是超清潔真空。差不多10年前，Edwards就已經(jīng)參與到EUV光刻機(jī)研發(fā)項(xiàng)目中，為EUV光刻機(jī)提供真空和氫氣排放的解決方案。現(xiàn)今，Edwards的設(shè)備已經(jīng)作為ASML EUV光刻機(jī)的附屬設(shè)備，安裝在世界各地的頂尖晶圓制造公司，24小時(shí)為極紫外光刻提供穩(wěn)定可靠的工作環(huán)境。

正因?yàn)橛羞@樣尖端技術(shù)的支撐，腔體加工Edwards在半導(dǎo)體真空領(lǐng)域得以保持多年的領(lǐng)先。

LOCAL for LOCAL，

服務(wù)中心→生產(chǎn)基地→研發(fā)中心→高校合作……

不同于國(guó)外一些高科技公司的保守做法，Edwards的“LOCAL for LOCAL”不僅僅是一句口號(hào)，而是真正成為了公司海外發(fā)展的一個(gè)指向標(biāo)。目前Edwards在中國(guó)的員工數(shù)已經(jīng)超過(guò)700 名。深度本土化發(fā)展，已經(jīng)讓本地員工比例超過(guò)98%，本地員工年度人均培訓(xùn)時(shí)間超過(guò)40 小時(shí)。

如今，Edwards在中國(guó)市場(chǎng)的年銷(xiāo)售額已經(jīng)超過(guò)45 億元人民幣，且連續(xù)五年保持復(fù)合增長(zhǎng)率兩位數(shù)增長(zhǎng)。中國(guó)市場(chǎng)已經(jīng)成為公司全球第一大業(yè)務(wù)中心。而國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體客戶(hù)已經(jīng)覆蓋了主流的Foundry，閃存腔體加工，DRAM生產(chǎn)商，以及一些新建的重點(diǎn)功率半導(dǎo)體生產(chǎn)項(xiàng)目。

Edwards上海公司成立于1998年，公司中國(guó)總部位于張江，主要從事真空泵系統(tǒng)制造和組裝等業(yè)務(wù)。隨著業(yè)務(wù)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，為了更有效利用外高橋的物業(yè)資源，發(fā)揮保稅區(qū)綜合優(yōu)勢(shì)，Edwards上海公司將其產(chǎn)品制造板塊轉(zhuǎn)移至青島，將外高橋基地的功能定位于零配件倉(cāng)儲(chǔ)分撥中心及產(chǎn)品培訓(xùn)中心，從而逐步發(fā)展成為營(yíng)運(yùn)總部企業(yè)。

目前，Edwards已經(jīng)在上海（華東），廊坊（華北），深圳（華南），西安（中西部）分別設(shè)立了服務(wù)中心。各個(gè)中心除了做到基本的客戶(hù)維保對(duì)應(yīng)以外，更是配備了人員培訓(xùn)，備件儲(chǔ)存，設(shè)備升級(jí)再造等多方面的功能。從而做到全時(shí)點(diǎn)，全覆蓋地滿(mǎn)足于客腔體加工戶(hù)多樣化的需求。

2015年9月，青島工廠正式投入生產(chǎn)，2018年10月，工廠二期開(kāi)業(yè)。目前的青島工廠占地 71 畝，建筑面積近 3 萬(wàn)平方米， 擁有約年產(chǎn)6000 臺(tái)半導(dǎo)體真空泵，9000 臺(tái)工業(yè)真空泵/系統(tǒng)的生產(chǎn)能力。現(xiàn)在青島工廠年產(chǎn)值已經(jīng)超過(guò)13億人民幣，其產(chǎn)品更是銷(xiāo)往全球四大洲，十多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。

隨著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，產(chǎn)品研發(fā)的需求也日漸迫切，在上海自貿(mào)區(qū)管委會(huì)等各有關(guān)部門(mén)的大力支持和協(xié)助下，2019年8月，Edwards將其中國(guó)首個(gè)研發(fā)中心落戶(hù)于外高橋新發(fā)展園區(qū)。此前Edwards在全球已有5個(gè)研發(fā)中心，分布在英國(guó)、美國(guó)、 日本和韓國(guó)等地，此次的中國(guó)區(qū)研發(fā)中心將是其在亞洲的第三腔體加工個(gè)研發(fā)中心，占地面積約 3000 平方米。而且配備有實(shí)際氣體實(shí)驗(yàn)的條件，用于滿(mǎn)足設(shè)計(jì)方案的驗(yàn)證。

人才是萬(wàn)物的根本，是企業(yè)發(fā)展的核心資源，Edwards在中國(guó)本地積極推進(jìn)校企合作。Edwards（埃地沃茲貿(mào)易(上海)有限公司）通過(guò)和“復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院”成立“Edwards 高真空獎(jiǎng)助學(xué)金”，從2020年起連續(xù)10年向上海復(fù)旦大學(xué)教育發(fā)展基金會(huì)捐資合計(jì)200萬(wàn)元人民幣，用于幫助微電子學(xué)院獎(jiǎng)勵(lì)優(yōu)秀學(xué)生，資助家庭經(jīng)濟(jì)困難學(xué)生，并支持前沿科技研發(fā)項(xiàng)目。

此外，Edwards還同“上海大學(xué)”，“上海海事大學(xué)”等知名高校建立了合作關(guān)系，推進(jìn)學(xué)術(shù)交流與合作。深化雙方在人才培養(yǎng)和技術(shù)研發(fā)等各方面的交流與合作，從腔體加工人才方面共同推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向前發(fā)展。